設備名稱：俄歇電子能譜儀 Auger Electron Spectroscopy，AES
設備編號：06000904
型號：PHI 700
廠家：ULVAC-PHI，日本
放置地點：理科樓D104

收費項目名稱
1、常規樣品測試費 校外：800元/小時、校內：500元/小時
注：非常規樣品測試費用另行商議。

極限真空≤6.7×10-8Pa，分辨率≤6 nm at 1 nA, 20 kV，靈敏度 10 kV, 10 nA on Cu ≥700kcps (Cu LMM)，角分辨率：angle＜25%±45o

俄歇電子能譜是一種利用高能電子束為激發源的表面分析技術, 其作用深度僅為幾個原子層，通過分析電子束激發的特征俄歇電子的能量可以獲得表面元素的定性及定量結果。該儀器是國家電子能譜中心的核心設備，結合離子刻蝕技術可以方便獲得材料表面沿深度方向的元素分布狀態，是表面成分分析的重要手段之一。結合原位樣品轉移倉，可獲得厭氧樣品的表面化學分布。

廣泛應用于物理、化學等新材料領域，特別是在半導體材料，半導體薄膜工藝以及失效分析等領域。