設備名稱：飛行時間二次離子質譜儀 Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry, TOF-SIMS
設備編號：13027664
型號：TOF.SIMS 5
廠家：ION-TOF GmbH（德國）
放置地點：理科樓D104
附屬設備：探針式膜厚測量儀（簡稱臺階儀）。型號：DektakXT；廠家：BRUKER（美國）；量測范圍：為0.1nm 至1mm，分辨為0.1nm，測量重復性可以精確到0.5nm 以內；測量精度：若臺階高度小于或等于100nm，指標為+/-2nm，若臺階高度大于100nm，指標為+/-1%。

收費項目名稱
表面分析送樣測試 校外：1500元/小時 校內：800元/小時
數據解析一律400元/小時
注：1 有機材料深度剖面等特殊分析需追加200元/小時。
???????2 按預約先后排隊測試，校內優先。

1．質量分析器
類型：反射式質量分辨本領：M/△M＞11000(28SiH+)＞16000 (＞200amu) 質量范圍: ＞12000amu
2．一次離子束
LMIG：Bi源最大能量：30keV最大電流：30nA最小束斑直徑：＜100nm(Atomic), ＜80nm(Cluster)
3．GCIB (Ar團簇離子槍) 能量范圍：2.5～20keVCluster 大小：1500～5000
4．O2+離子槍 (僅作濺射)
離子能量范圍：0.2～2keV
5．Cs+離子槍(僅作濺射，與O2+離子槍共享一個離子光學系統)離子能量范圍：0.2～2keV
6．帶電中和低能電子槍
能量：1-20eV可調
7．樣品臺：5維加熱/冷卻
控溫范圍及精度：-130℃～600℃；±1℃
8．EDR技術：動態范圍增2個量級
9．本底真空：＜6.7×10-10mba

可用以表面下范圍在2nm以內的最表層分析，能檢測出包括氫(H)在內的所有元素及其同位素，對所有元素具有極高的檢測靈敏度(ppm～ppb,因元素而異)，可檢測痕量雜質，及微量摻雜對材料和器件性能的影響；能測定從表面到深至數十μm的微量元素及化合物濃度布；能觀測各種元素及化合物的1D、2D、3D分布，具有很高的空間分辨率(＜100nm)；能分析絕緣材料；能鑒定有機化合物分子，對有機材料結構分析有獨特的能力，適于分析大分子、超高分子量有機化合物，并能測定分子量；能取得單分子層表面結構信息。

適用于有機、無機、生物、醫學、電子、地質/考古、環境等各種領域的各種固體材料的分析。在有機納米材料和器件、有機/高分子材料微量添加劑、微電子材料、催化劑、摩擦化學、新藥創制、環境微顆粒微量成分、生物細胞分析等的研究開發中，它已成為必不可少的工具。