清華大學分析中心能譜分析平臺XPS（X射線光電子能譜儀）的附加功能REELS（反射式電子能量損失譜）和ISS（離子散射譜）現已開放，歡迎有相關需求的師生和科研工作者咨詢、預約使用。

REELS的基本原理

REELS（ Reflected Electron Energy Loss Spectroscopy）即反射式電子能量損失譜。電子在材料表面發生散射，對于大部分原子來說，因為其質量遠遠大于電子，電子基本上不損失能量而散射。H因為其原子質量相比于其他原子要小的多，電子與其發生碰撞損失部分動能，使得H可以被檢測到，電子的能級躍遷（震激）也可以在這個散射過程中被激發，增加REELS功能可以用于電子能級軌道躍遷的探測和H元素含量的檢測。

REELS案例

1：OLED材料的價帶能級結構表征

2：儲氫材料/含氫聚合物中的H含量檢測

ISS的基本原理

ISS（Ion Scatter Spectroscopy） 即離子散射譜。利用具有特 定能量的氦離子和原子核相互作用來探測樣品成分。ISS是XPS技術的一項補充，十分表面敏感，基本上只探測最表面1-2個原子層的元素信息。一般用來觀測樣品最表面信息，如單層覆蓋率以及元素表面偏析等等。

ISS案例最表面成分分析