1979-1983年就讀于廣州中山大學物理系，獲理學學士；1983-1986年就讀于清華大學，獲工學碩士；2004-2005年在日本東北大學，獲博士學位。1986年6月-1991年4月留校任職于清華大學無線電電子學系，任助教、助理研究員。1991年6月-2005年12月赴日本ULVAC-PHI 株式會社表面分析室工作，歷任俄歇電子能譜(AES)、X射線光電子能譜(XPS)、二次離子質譜(SIMS)分析實驗室主事(專家)。2006年1月至今被人才引進至清華大學分析中心，任高級工程師。

目前主要利用AES、XPS、SIMS等表面分析技術從事固體材料表面分析、結構表征等研究。已發表學術論文四十多篇。獲2019年度中國分析測試協會科學技術獎-CAIA獎一等獎，2020年中國標準創新貢獻獎二等獎。所負責的飛行時間二次離子質譜TOF.SIMS5獲得2019年度清華大學大型儀器效益一等獎。是全國微束標準化技術委員會表面分技術委員會專家委員；國際標準化組織ISO/TC201/SC6專家組成員。

目前主要負責飛行時間二次離子質譜（TOF-SIMS）機組的管理、運行工作。